一．概述

      目前各種真空泵的發展愈來愈受到真空應用場合的影響，一般的真空系統無法滿足清潔無油及耐腐蝕的要求，因此近年來干式真空泵市場需求量很大，真空獲得產品已經出現更新換代的局面，大量的有油真空系統已經被無油清潔的真空系統所代替。國外幾乎每一家較大的真空公司都生產各種不同型式的干式真空泵，螺桿真空泵屬于非接觸型干式泵，是20世紀90年代初期出現的一種理想的泵種，以其抽速范圍寬、結構簡單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長、能耗低、

無油污染等有點，我國尚處于起步階段，市場對于干式真空泵有迫切的需求。   

HZG型螺桿真空泵是我公司根據市場需求自主研發的技術先進的干式真空泵，因螺桿真空泵無需油潤滑或水密封，泵腔內完全無油，因此，螺桿真空泵在半導體，電子工業中要求無油潔凈真空的場合以及化工制藥中對溶劑的回收工藝等具有不可比擬的優勢，另外在變壓器干燥過程中旋片泵的換油頻繁及壽命問題也可得到解決，所以螺桿真空泵可廣泛替代旋片式真空泵，滑閥式真空泵，水環式真空泵，水噴射真空泵，往復式真空泵，羅茨水環真空機組等。

螺桿真空泵的一個導程相當于一級泵，多個導程的螺桿泵相當于多級泵串聯，相對于爪式真空泵，多級羅茨真空泵等多級串聯的干式真空泵而言，因螺桿真空泵的各級泵之間無內部通道，而是直接將氣體從吸氣側推送至排氣側，因此在抽除可凝性氣體，帶有粉塵及顆粒物的氣體時不易堵塞且清洗方便。

二．結構原理及特點

螺桿式無油機械真空泵又稱為干式螺桿真空泵，是利用齒輪傳動同步反向旋轉的相互嚙合而不接觸的左螺桿與右螺桿作高速轉動，利用泵殼和相互嚙合的螺旋將螺旋槽分隔成多個空間、形成多個級，氣體在相等的各個槽內（柱形等螺距）進行傳輸運動，但無壓縮，只有螺桿最末端的螺旋結構對氣體有壓縮作用。螺桿的各級間可形成壓力梯度，以分散壓差和提高壓縮比。各部間隙和泵轉速對泵的性能有很大影響。在設計螺桿各部的間隙時，要考慮膨脹、加工及裝配精度和工作環境（如抽除含粉塵氣體等）。該泵與羅茨泵一樣不設排氣閥。這種類型的泵如果選用適當的較簡單螺桿牙型截面，則制造簡單，可保證很高的加工精度，且容易動平衡。泵腔內無油，對真空系統無污染，提高產品質量。

    1.泵腔內無油，對真空系統無污染，提高產品質量。

    2.泵腔內無油，解決油乳化及頻繁更換工作液、頻繁維護和保養等問題，節約使用成本。

    3.干式運行，不會產生廢油和油煙，有利環保，節約石油資源。

    4.能抽除大量水蒸氣和少量粉塵的氣體。增加附件后，能抽除易燃、易爆及放射性等氣體。

    5.極限真空達到5Pa,適用于中、低真空，與羅茨泵串聯可配成無油中真空抽氣機組，與分子泵串聯可組成無油高真空機組。
    6.采用防腐涂層處理后，特別適用于變壓器，制藥、化工工藝中的產品蒸餾、干燥、脫氣等使用場合。

三．結構原理及特點

    1.電工：變壓器、互感器、環氧樹脂真空澆注、電容器真空浸油、真空壓力浸漬。
    2.工業爐：真空釬焊、真空燒結、真空退火、真空加壓氣淬、真空脫羥等。
    3.真空鍍膜：真空蒸發鍍膜、真空磁控濺射鍍膜、薄膜卷繞連續鍍膜、離子鍍等。
    4.冶金：特種鋼冶煉、真空感應爐、真空脫硫、脫氣。
    5.航空、航天：航天搭載飛船軌道艙、火箭姿態調整倉、宇航服、宇航員太空出倉、飛機升空等真空模擬試驗。
    6.干燥：變壓法真空干燥、煤油氣箱干燥、木材干燥、蔬菜冷凍干燥。
    7.化工、制藥：產品蒸餾、干燥、脫氣、物料輸送等。

 

四．技術參數

技術規格表:

 

注意：（1）真空泵前蓋和油箱兩側分別加注潤滑脂油和真空泵油。設備出廠時配有泵油和潤滑脂油。

          （2）上述冷卻水量是基于環境溫度在20℃時候的用量，使用循環水用量會有所變化。

          （3）上表噪聲值是在排氣口敞開室內時測下的，如接至室外噪聲值比上表低5～10dBA左右。

五．安裝說明

 1. 場所

 (1)將泵放置在一個干凈、平整、空間足夠大的場合。如果必須是在戶外安裝，那么電機、 V型帶和其他部分防護等級應是戶外型。

 (2)應該有足夠大的空間保證維修維護，如拆卸、重新組裝和定期檢查等。

 2. 基座：

 (1)考慮到泵的重量和地面的承載力，基座混凝土應該有足夠的承載能力，因為如果地面土壤不夠堅硬，基座會下沉?；炷恋幕旌媳嚷蕬撌?/span>1份水泥、2份沙子和四份石子。

 (2)為了使泵順利理入到混凝土中，基座必須按照泵說明書提供的尺寸預先留孔，并且表面應盡可能平整。

 (3)在檢查了混凝土是否堅固后，繼續管道系統的安裝。

 3. 安裝：

(1)根據說明手冊將泵平穩安裝和放置。

(2)將泵放置在基座上，泵座上的固定孔正對基礎預留孔，用碶鐵調整泵的水平。

(3)將地腳螺栓放入洞中，再穿過泵座上的孔，安上螺帽。

(4)將地腳螺栓洞里用混凝土漿灌實并將縫隙處用薄泥漿填實，薄泥漿由1份水泥、2份沙子的比例構成，等幾天后，水泥漿凝固，然后擰緊螺母。

 4. 管路系統：

 (1)清理進氣口和排氣口管路，以免生銹，清除灰塵雜質，在泵的吸氣口或之上加裝40目的過濾網。

 (2)有可能的話在泵的進氣口和排氣口都加裝彈性膨脹節，并且給管路系統做相應支撐。

 (3)消音器安裝在排氣側，排氣管路盡量暢通。

 (4)泵的進氣口安裝務必安裝一個真空逆止閥，如果安裝逆止閥有困難，那么就安裝一個閘閥。

 (5)排氣管路上會殘存著冷凝下來的液體，在泵下面放置回收罐，這樣，在操作過程中，當開啟排水閥時，冷凝的氣體和水就能被收集起來。

 (6)在排水閥下面放置一個接收器，收集廢料。

 5.氣體冷卻

這種冷卻的目的是要冷卻螺桿和泵體內側。用此種冷卻方法冷卻泵的運轉過程中氣體由于被壓縮而造成的高溫。在此過程中氣體從吸入口吸入，通過螺桿的旋轉壓縮被輸送到排氣口，氣體被壓縮熱加熱。當排氣口氣體溫度達到130℃至200℃之間時，需要用此種方式降溫。在大多數情況下，我們使用空氣來冷卻，這也是我們設備的標準冷卻形式。在空氣注入口裝有一個空氣過濾器來凈化進入的空氣。只是在要求該泵作為氣體傳輸泵用時，才增加后置冷卻器，以保證送出的氣體純度。

（1）凈化的參數

型號	流量M3/min	備注
HZG150	0.5	這個滲氣參數可根據真空泵 的真空度進行調整
HZG300	0.6
HZG450	0.6
HZG600	0.6

（2）凈化的參數

①標準：通過空氣過濾器的空氣凈化；

②利用熱傳導：利用換熱器將生產過程中的氣體進行循環；

③利用惰性氣體如N₂等等，取代空氣或冷卻的工業廢氣。

 6. 凈化

 ● 密封凈化：這種凈化是在泵運行過程中用如N₂等的惰性氣體對前端和后端的唇型密封加壓，這樣流程氣體或流體就不能進入到同步齒輪箱和軸承里?？梢允褂冒惭b在前后端蓋子上的兩個螺塞中的任一個，作為密封凈化的連接。凈化氣體壓力低于0.5kg/cm²。

 ● 清洗凈化：這種凈化是在停比泵的運轉之前，對泵體的內部進行清洗。在停止運轉之前，關掉吸氣口上的主閥門，通入凈化N₂、蒸汽或清洗劑沖洗20到30分鐘以便清理泵內的廢氣和其他有粘性的物料。在抽取腐蝕有毒的氣體或粘性物料（如樹脂等）的過程中，這步凈化非常重要。

 ● 空運轉：每個步驟完成之后，仍需將泵在不進氣狀態下轉轉10至20分鐘。這是為了排除和清理在泵運轉過程中產生于泵內的氣體，凝縮蒸汽。如果得不到及時清理，殘留在泵內的物質會堵塞在泵內，導致泵內的涂層脫落或再次啟動泵時電機過載。在這種情況下，需要向泵體和螺桿內通入蒸汽，使凝固物軟化，不能試圖通過外力使泵運轉。

 ● 蒸汽清洗方法（在停止泵的運轉之后）

（1）需要蒸汽沖洗的物料：低聚物、單體、聚合物、樹脂等；

（2）蒸汽壓力：大約為1Kg/cm²;

（3）沖洗過程：

     ①關閉吸氣閥、打開排氣閥或消聲器、分離器閥。

     ②通過泵入口管路或入口法蘭上的螺塞噴入1到10分鐘時間的蒸汽（噴入時間隨過程中產生的物料多少而相應變化）。

     ③用手去旋轉軸（皮帶或聯軸器的），觀察泵是否旋轉平衡（此時一定要小心，千萬不要開啟機器）。

     ④如果泵運轉平滑，停止注入蒸汽。然后起動機器，檢查泵是否運轉正常。

 

（ 4）如果經過上述過程后并不滿意，重復進行上述操作2至3次。

  

六．使用說明

 1. 操作

（1）開啟進氣閥，在無負載的情況下打開電源，檢查泵的轉向，如果正確直接起動，如相反，將電機進線盒上的任意兩條電線對調。

（2）在無負載的情況下運轉泵20到30分鐘，檢查泵的不正常的震動和溫升。一旦有不正常情況發生，停止操作，查找原因。大多數情況下，原因是不正確的安裝或不對中造成的。也有可能是因為使用了不合格的潤滑油。

（3）正常負載情況下運轉泵2到3個小時，檢查每個部位的溫度和震動情況。

（4）在操作過程中，注意電流表的指示。如果有不正常的情況發生，立即停止泵的運轉并檢查原因。經常情況下，原因是轉子之間相碰撞或轉子的頂部和泵體的內部表面有摩擦。 我們所提供的產品都通過了檢驗，但仍然有必要重視泵的分解和重裝。

 2. 操作過程中需要注意的問題

(1)檢查軸承的溫度、潤滑劑、電流表和冷卻水。

(2)按照指定的說明書操作機器。

 3. 停車

（1）關閉吸入口主閥門。

（2）如果有腐蝕性的氣體被吸入，則在關閉機器前清理泵的內部。

（3）關閉電機，泵停止工作。

（4）切斷冷卻水。冬天為防止水凍結，應通過排水閥將水排出。

 4. 潤滑油

潤滑油必須是質量好和高等級的石化產品，具有抑制氧化、防銹、低的飽和蒸汽壓等特性。千萬不要用含有任何水成分、硫酸鹽、樹脂或焦油的潤滑油。在市場上可買到的齒輪油一般能滿足需求。

 

七．維修和保養

 1. 概論

  （1）在操作過程中，由于壓縮產生熱，使得溫度會升高。但是如果溫度只是局部升高，并且夾套外部也熱，則是不正常的現象?？赡苁怯捎诓贿m當的冷卻水供應或切斷了冷卻水、泵體和螺桿間的摩擦、螺桿間的碰撞或是泵吸收了某些雜質。因此，需要關閉泵，檢查異常情況。有時，是因為泵使用了很長時間，螺桿和泵體被腐蝕了，泵的各部位間隙變大，泵的抽氣能力比起初降低了，大量被排出的氣體返回達到吸入端，這時就需要清理修復這些部件。

 （2）及時記錄不正常情況，對軸承溫度、震動和噪音作常規性檢查。每天做到盡力保養。

 （3）可以通過聽診器監聽噪音，記錄螺桿間或螺桿與泵體之間的碰撞摩擦。

 （4）在冬天或在冷的地方，無論泵什么時候停止，都要將冷卻水排掉。結冰的水會損壞夾套。

   2. 周期性檢查

   ● 每日

   （1）油標測量：潤滑油過多或過少都會損壞齒輪和軸承
   （2）檢查冷卻水是否充足。
   （3）檢查油脂封蓋和前后端蓋的溫度。方便的話可以使用合適的溫度計或表面溫差電偶。
   （4）檢查吸入和排出壓力，確保對泵的操作遵循說明書的規范。
   （5）檢查電機的負荷。電機負荷增加時表現出來的不正?，F象應記錄下來。

   ● 每月

（1）檢查V型帶的張力。

（2）檢查潤滑油的成色。（如果油變成黑色，則需更換）。

（3）檢查油標水平。如果油急劇減少，則需檢查密封件。

   ● 每季度

 檢查冷卻水的流動和顏色。如果有不對的地方，清理水流過的夾套和水管。

   ● 每半年

（1）檢查泵的連接管路。

（2）更換前端齒輪箱的潤滑油。

（3）更換后端蓋內軸承的油脂。

   ● 每年

（1）檢查機械密封（如果裝有機械密封）。

（2）檢查螺桿和泵體的內表面。拆開吸氣管，檢查螺桿和泵體的表面涂層。

（3）拆開前蓋，檢查齒輪和軸承。

 

螺桿真空泵維護保養和檢查表

	項目	檢查點	每天	3-6個月	每年
1	電機電流表	有什么變化？電流是否異常？	⊙
2	旋轉	旋轉是否平滑？	⊙
3	吸入和排出壓力	壓力是否異常？	⊙
4	噪音和震動	是否有不正常噪音和震動？	⊙
5	溫度	軸承及其他部位溫度有無明顯升高？	⊙
6	齒輪箱油量	油是否在適當水平？	⊙
7	潤滑油更換	是否該更換潤滑油了？		⊙
8	冷卻水量和壓力	水量是否正常？	⊙
9	吸入管和流出管	壓力過高了么？		⊙
10	停車時是否空運轉了	空運轉發現銹跡或斑點了么？
11	檢查泵體和轉子涂層	是否有剝落？			⊙

 

 

八．常見故障及消除方法

問題解答

 

 

 

    

 

               

 

 

 

 

 

 

 

 

十、螺桿真空泵拆解圖